摘要

以单质硅和不同的二氧化硅(SiO_2含量分别为99.70%、99.14%、97.67%、99.999%的分析纯二氧化硅粉、工业石英粉、SiO_2微粉、高纯石英玻璃粉)为原料于1460℃下通入高纯氮气高温反应合成Si_2N_2O,对合成的粉末进行XRD物相定性及定量分析,用扫描电子显微镜对微观形貌进行观察,对微区进行成分分析,研究了二氧化硅源对合成试样中的Si_2N_2O含量及形貌的影响。结果表明,以分析纯二氧化硅粉、高纯石英玻璃粉、工业石英粉为二氧化硅源高温氮化合成的试样中Si_2N_2O的含量达到96%以上,而以SiO_2微粉为二氧化硅源高温氮化合成的试样中Si_2N_2O的含量为89%;以...