摘要

集成光功率分配器是一种重要的片上光功能器件,本文在绝缘硅平台上研究设计了一种基于非对称定向耦合器的超紧凑高宽带1X2 3dB光功率分配器。器件使用了传统的定向耦合波导与非对称定向耦合波导级联,并嵌入亚波长光栅结构来平衡TE和TM偏振的耦合系数并减小器件的尺寸。该器件具有结构紧凑和偏振不敏感的特性,耦合区域尺寸为7.7μm×1.24μm。当功率分束比位于3 dB±0.5 dB范围下,器件的工作带宽为1 530 nm-1 730 nm,展现出了优越的高带宽分束性能。