MEMS F-P干涉型压力传感器

作者：江小峰; 林春; 谢海鹤; 黄元庆; 颜黄苹

来源：红外与激光工程, 2014, (07): 2257-2262.

• 光纤传感器
• MEMS
• 全玻璃材料
• F-P腔制作 optical sensor
• MEMS
• all-glass material
• fabrication of F-P cavity

为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求,提出了基于微机电系统(MEMS,Micro electromechanical System)技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器,该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺,结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740wafer基底上制作出F-P腔体,利用低压化学气相沉积(LPCVD)的方法在基底上沉积一层40nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合,并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明:在压力线性范围0~400kPa内传感器具有很高的重复性...

• 出版日期2014
• 单位厦门大学