中频波面的旋转平移法干涉绝对检验

作者：袁群; 高志山; 张聪旸; 成金龙; 朱波

来源：光学精密工程, 2013, (03): 652-663.

• 干涉术
• 绝对检验
• 波纹度
• 旋转
• 平移 interferometry
• absolute testing
• waviness
• rotation
• displacement

基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验。本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验。将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分。与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1nm rms。在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对...

• 出版日期2013
• 单位南京理工大学