钼掺杂氧化锌薄膜的制备及其性能研究

作者：顾锦华; 陆轴; 康淮

来源：中南民族大学学报(自然科学版), 2017, 36(02): 66-72.

• 掺杂氧化锌
• 薄膜
• 结构
• 光电性能

采用掺氧化钼(MoO3)的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源材料,利用磁控溅射工艺制备了钼掺杂氧化锌(MZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜,通过X-射线衍射仪(XRD)、光分光光度计和四探针仪进行了测试表征,研究了溅射功率对MZO薄膜结构、光学和电学性能的影响.结果表明:所沉积的MZO薄膜样品均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向生长特性,溅射功率对薄膜结构和光电性能具有不同程度的影响.当溅射功率为120 W时,MZO薄膜的可见光区平均透过率最高、电阻率最低、性能指数最大,具有最好的光电综合性能.

• 出版日期2017
• 单位电子信息工程学院; 中南民族大学