薄膜太阳电池用TCO薄膜制造技术及其特性研究

作者：陈新亮; 王斐; 闫聪博; 李林娜; 林泉; 倪牮; 张晓丹; 耿新华; 赵颖

来源：材料导报, 2011, (18): 73-77.

• 镀膜技术
• TCO薄膜
• 绒面结构
• 高迁移率
• 缓冲层
• 梯度掺杂
• 薄膜太阳电池 thin-films fabrication technology
• TCOs
• textured surface
• high mobility
• buffer layers
• gradual doping growth
• thin film solar cells

阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜(Transparent conductive oxides-TCO)以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果。绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本。磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如"弹坑"状和"类金字塔"状表面)的主流生长技术;高迁移率TCO薄膜(IMO、IWO、ZnO∶Ga等)以及柔性衬底TCO薄膜是研究开发的重点。

• 出版日期2011
• 单位南开大学