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摘要
本发明公开了一种符合阿贝原则的三维精密测量系统,包括三维宏动台、六自由度微动台、激光测长测角系统、三维反射镜组、低膨胀计量框架、二维微调机构、触发测头或切削刀具以及连接机构；激光测长测角系统实现载物台六自由度测量,三轴激光干涉仪作为x向,y向,z向长度基准通过二维微调机构确保测量光束相互垂直并相交于测量触发点,锁定三轴长度基准与触发点的相对位置,建立三维计量系统,工作模式为载物台运动,计量系统固定,确保在运动过程中,任一被测点始终位于长度基准或延长线上。本发明中,测角仪实时反馈载物台角运动,控制微动台进行角运动误差补偿,宏微协同运动实现大行程与高分辨力的测量效果,通过触发被测对象实现测量。
- 单位
