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摘要
为满足低损耗的设计需求，太赫兹微波组件中一般使用熔融石英基板。不同于光学系统对熔融石英材料的要求，应用于太赫兹等高频段微波组件的熔融石英基板材料不仅需要具备稳定的介电性能，还需要更优异的表面镀膜特性与电路图形、外形等加工精度要求。本文基于薄膜电路制造工艺要求，针对JC-Z05石英基板膜层附着力、表面刻蚀精度、切割质量、粘接强度等关键工艺特性研究，并通过改进工艺参数，进一步优化JC-Z05石英基板工艺适用性，提升国产石英基板材料作为在太赫兹频段薄膜电路制备的可靠性。研究结果表明，国产化熔融石英基板，结合优化后的薄膜电路制作工艺，制作出的电路具有膜层附着力强、外形切割公差小以及粘接可靠性高的特点，可满足复杂宇航环境中的高可靠应用。这一工作可为后续熔融石英电路基板在太赫兹领域的应用提供参考。
- 出版日期2023
- 单位中国空间技术研究院
