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摘要
一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极,包括安装组件,以及设于安装组件上的屏蔽罩,屏蔽罩内由上至下依序安装靶材组件、超声清洁冷却组件、磁性组件以及磁短路组件；超声清洁冷却组件包括冷却元件和导热元件,以及设于冷却元件外侧壁上的多个超声振子；冷却元件的顶部内凹形成供冷却介质通过的冷却流道,导热元件的底部设有多个外凸且延伸至冷却流道中的导热柱。本发明通过导热元件将靶材组件的热量快速导出至导热柱中,冷却流道中的冷却介质迅速与导热柱中的热量进行热交换,从而提高散热效果,此外,可以通过超声振子对冷却流道中产生的水垢及靶材表面的颗粒物进行自动清洁,从而提高冷却效率、减少靶材打火,提高沉积涂层速率及质量。
- 出版日期2021-7-5
- 单位华南理工大学
