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碲化物薄膜的附着牢固度与其显微结构的关系
作者:张素英; 范滨; 程实平; 凌洁华; 周诗瑶; 王葛亚; 施天生
来源:
红外与毫米波学报
, 1999, (04): 73-77.
碲化物
薄膜
显微结构
附着牢固度 telluride
film
microstructure
adhesion.
摘要
用X射线衍射(XRD)和透射电镜术(TEM)观察Si和Ge基板上PbTe、CdTe及PbGeTe单层薄膜及其与ZnS组合的多层薄膜的显微结构,给出了薄膜附着牢固度与薄膜显微结构的关系
出版日期
1999
单位
中国科学院上海冶金研究所;
上海师范大学
;
中国科学院上海技术物理研究所
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