纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究

作者：金文豪; 徐东; 杨莺歌; 张亚非

来源：光电子技术, 2006, (01): 26-29.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2006.01.007

• 薄膜光学
• 光学常数
• 非线性约束优化算法 thin film optics
• optical constant
• constrained nonlinear programming algorithm

采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层T iO2、A u纳米薄膜和双层T iO2/A u纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱。通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度。这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点。

• 出版日期2006
• 单位上海交通大学