采用电化学和湿化学法结合的两步化学法制备了Co掺杂的ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明Co掺杂没有改变ZnO薄膜的六角纤锌矿结构。扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)结果表明薄膜是由ZnO单晶纳米棒组成。X射线光电子能谱(XPS)结果表明Co2+替代了Zn2+,实现了有效的掺杂。磁性测量的结果表明,样品在室温下的磁性表现为顺磁性和铁磁性的结合。