大口径高精度四维调整工作台设计

作者：张楚鹏; 赵则祥; 赵惠英; 于贺春; 张国庆; 王文博

来源：制造技术与机床, 2013, (06): 89-94.

DOI：10.3969/j.issn.1005-2402.2013.06.034

• 四维调整工作台
• 调心调平
• 大口径
• 光学元件
• 高稳定性 Four-dimensional Adjustment Table
• Aligning and Leveling
• Large Aperture
• Optical Components
• High Stability

为了解决大口径高精度光学元件加工和测量过程中的调整问题,研发了一台SWTZT-1400高精度四维调整工作台。文中以四维调整的坐标转换为基础,阐述了四维调整工作台的调整原理,并对大口径高精度四维调整工作台进行了设计。为保证工作台高效率、高精度和高稳定性的调整,工作台整体采用双层结构形式,调平采用八点支撑结构,并配置高可靠性的调心调平锁紧机构,该工作台的上台面直径为1400mm,其平面度≤0.01mm,x、y向的调心范围为±25mm,x、y向的调心误差为0.1μm,x、y向的调平范围为±3°,x、y向的调平误差为10″,可实现大口径高精度光学元件的加工、测量和精密修配中工件装夹位置和角度的精确微量调整,提高光学元件的制造和测量精度。

• 出版日期2013-6-2
• 单位中原工学院