(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究

作者：贾恒; 张钧

来源：真空科学与技术学报, 2012, (12): 1067-1073.

• 退除液
• 多弧离子镀
• (Ti
• Al
• Zr)N硬质反应膜
• 高速钢 Stripping solution
• Multi-arc ion plating
• (Ti
• Al
• Zr)N hard reactive films
• High speed steel

利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因素,考查(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜的退除效果。分析了高速钢基体和退膜前后试样的表面形貌、成分和粗糙度。比较了退除液组元的不同组合、不同浓度、退除液不同PH值条件下镀膜试样表面形貌随时间的变化,进而确定了退除液的最佳组元组合及最佳退除膜层工艺,实现了高速钢基体上(Ti,Al,Zr)N膜的完全退除,退膜后的试样表面光亮,无腐蚀损伤。

• 出版日期2012
• 单位沈阳大学