新型半导体薄膜材料的研究与进展

作者：李玉增

来源：半导体技术, 1996, (03): 7-11.

• 半导体薄膜
• 金刚石
• 富勒烯（C_（60））氨化硼
• 碳化硅
• 导电聚合物

阐述了新型半导体薄膜材料──金刚石和富勒烯、Ｃ－氮化硼和β－碳化硅以及聚乙炔和聚噻吩等制备技术进展、器件应用概况和未来发展趋势。

• 出版日期1996
• 单位北京有色金属研究总院