铝基板表面微弧氧化膜厚度对其导电导热性的影响

作者：张博; 蔡辉; 张阳; 孙万昌; 张菊梅

来源：表面技术, 2017, 46(05): 23-27.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.05.005

• 铝基板
• 氧化铝
• 微弧氧化
• 膜厚
• 电阻率
• 热扩散系数

目的对LED封装用铝基板表面进行微弧氧化处理,用以调控其界面的导电导热行为,并构建微弧氧化膜的厚度与其导电性及导热性之间的关联性。方法采用XRD表征了不同厚度微弧氧化膜的相结构,借助SEM观察了不同厚度膜层的表面微观形貌,利用高阻计测试了不同外加电压下膜层的电阻率,采用闪光法测定了不同温度下膜层的热扩散系数。结果微弧氧化膜主要由γ-Al2O3相组成,随膜层厚度的增加,膜层的相结构无显著变化,但其表面多孔结构出现了明显变化。膜层电阻率随膜厚的增大而升高,在膜厚从10μm增至40μm的过程中,电阻率增大了48倍。膜层电阻率随测试电压的升高而降低,当测试电压从50 V升至100 V时,电阻率降幅达12个数量级。膜层的热扩散系数随膜厚的增大出现波动,当膜厚为1040μm时,热扩散系数的变化量为21.624.8 m2/s。膜层热扩散系数随测试温度的升高而降低,降幅最高可达8.9 m2/s。结论厚度为40μm的微弧氧化膜既具有高的电阻率(7.1×1012?·cm),又具有高的热扩散系数(98.0 m2/s),有望满足LED铝基板的界面绝缘与散热要求。

• 出版日期2017
• 单位西安科技大学