薄膜X射线应力分析

作者：杨于兴; 穆树人

来源：理化检验.物理分册, 1995, (05): 29-32.

• 薄膜X射线衍射
• 应力分析
• 真空光阑
• 内标校正

由于X射线薄膜衍射几何的特点,致使薄膜X射线应力分析的精度很难达到常规应力分析水平。本文采用真空充阑、内标校正的途径来提高薄膜X射线应力分析的精度。

• 出版日期1995
• 单位上海交通大学