MEMS光开关阵列的设计与应用

作者：赵磊; 王小齐; 李晶娣; 赵振海; 柳华勃; 马优恒

来源：应用光学, 2016, (03): 452-455.

• 防空导弹系统
• 反应时间
• MEMS光开关阵列
• 双层静电梳齿结构
• 气膜阻尼 air defense missile system
• response time
• MEMS optical switch
• double-layer electrostatic comb structure
• air-film damp

针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断。根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数。仿真结果表明:MEMS光开关的响应时间为0.627ms,稳态位移为4.724μm,最大位移为6.801μm,将相同阶段的反应时间缩短为原先的1/4。由此可以得出结论:MEMS光开关阵列不仅缩短了防空导弹系统的反...

• 出版日期2016
• 单位西安邮电大学; 西安应用光学研究所