摘要

光学系统在低温下工作时,元件表面发生变形,系统性能下降,所以在设计阶段必须进行预估和处理。将元件的变形分为热胀冷缩引起的变形和外力作用引起的变形,并根据各自的特征讨论了相应的处理方法。