电磁驱动式微拉伸装置的改进

作者：余朋清; 丁建宁; 杨继昌; 范真; 李长生

来源：机械设计, 2003, 20(11).

DOI：10.3969/j.issn.1001-2354.2003.11.008

• 电磁驱动
• 微构件
• 电容位移传感器

电磁驱动微拉伸装置是测试和评定微构件拉伸力学性能的一种较精确的仪器.通过分析该装置测量微构件材料力学性能的原理,提出采用高精度电容位移传感器,利用高输入阻抗的运算放大器电路和驱动电缆技术使传感器具有很好的线性度、准确度和较高的稳定性,使改进后的微拉伸装置对位移的分辨率达到1.195nm,大大提高了测量结果的精确性.

• 出版日期2003
• 单位江苏大学