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等离子体表面技术的研究与应用
作者:毛国强; 卫中山
来源:
航空精密制造技术
, 2002, (04): 7-11.
等离子体
表面技术 plasma
surface technology
摘要
概述了离子注入、离子束沉积、等离子喷涂、离子镀、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理和双层辉光离子渗金属等等离子体表面技术的基本原理和最新进展,并给出了部分典型实例。
出版日期
2002
单位
南京航空航天大学
;
中国烟草总公司郑州烟草研究院
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