摘要

本文报道玻璃衬底 a-Si∶H pin 二极管的制备与光敏特性及其有关的测试装置和方法。该二极管在可见光区域响应度高、线性度好、响应速度快。该二极管配上滤色片能用作色敏二极管。这种 a-Si∶H pin 二极管能鉴别可见区域内光的强度与“色”,是很有希望的光敏二极管。