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摘要
采用磁控溅射离子镀技术制备了一组不同Cr含量的碳基离子镀层,利用XRD、SEM、TEM、XPS及Raman光谱对镀层的微观结构进行了表征,并分析了微观结构对镀层的力学性能及摩擦学性能的影响。实验结果表明:随着Cr含量的增加,碳基镀层从典型的非晶结构转变为纳米晶/非晶复合结构,sp2杂化键含量逐渐增加,sp3杂化键含量逐渐减少,并且碳基镀层的硬度和内应力均随着Cr含量的增加而呈现减小的趋势。微量的金属Cr掺杂可有效地降低镀层的摩擦系数和比磨损率。过量的Cr掺杂虽有利于sp2杂化键含量的提高,但金属相的弥散分布导致了碳基镀层摩擦系数和比磨损率的增大,摩擦学性能变差。
- 出版日期2017
- 单位西安理工大学; 材料科学与工程学院
