基于正弦调制的激光平面测量系统的研究

作者：黄银国; 林玉池; 王为

来源：传感器与微系统, 2009, 28(11): 34-36.

DOI：10.13873/j.1000-97872009.11.022

• 平面测量
• 正弦调制
• 柱面透镜
• 激光平面

针对高精度的大平面测量,构建了一种基于正弦调制的激光平面测量系统。该系统以激光器(LD)为光源,位置敏感探测器(PSD)为光电探测器,通过柱面透镜扩束获得测量基准平面—激光平面。分析了影响系统测量精度的主要因素,提出采用光源正弦调制的方法,以提高测量系统的抗干扰能力。实验结果表明:该系统具有较高的测量精度和输出稳定性。

• 出版日期2009
• 单位天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室