新型衬底材料γ-LiAlO_2热稳定性研究

作者：邹军周圣明彭观良周国清徐军

来源：硅酸盐学报, 2005, (05): 564-567.

• 铝酸锂
• 衬底材料
• 吸收光谱
• 退火处理
• 晶体缺陷 lithium aluminate
• substrate material
• absorption spectrum
• annealing
• crystal defect

研究了温度梯度法生长的γLiAlO2晶体在1100℃不同气氛处理的热稳定性。借助扫描电子显微镜和X射线衍射分析发现:1100℃/10h真空和空气处理后的样品表面分别形成了均匀微孔状和岛状LiAl5O8多晶;而富Li气氛处理后样品表面仍然光滑且仍为LiAlO2。用Leitz大视场显微镜观察重新抛光后样品内部宏观缺陷,发现空气和真空处理后样品缺陷增多,分别为岛状和条纹状缺陷;而富Li气氛处理后样品中缺陷明显减少。对比不同气氛处理的4块样品吸收光谱,确认了真空和空气处理产生的196nm吸收峰可能是Li空位吸收峰。

• 出版日期2005
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院大学