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摘要
氮氧化铝(AlON)透明陶瓷具有优异的光学、热学和机械性能，可广泛应用于光电窗口、整流罩、透明装甲等领域。成型高致密度、结构均匀的素坯是制备氮氧化铝透明陶瓷的关键技术环节。但是纳米粉体比表面积大，易产生非均匀团聚，导致成型坯体致密度差。为了提高素坯密度和均匀性，本文首先通过优化喷雾造粒工艺实现纳米粉体微球化，获得直径大于10μm、具有良好流动性的致密球形颗粒。然后分析成型压力对素坯的密度、微观结构、平均孔径及陶瓷性能的影响，得到相对密度58.8%的素坯，烧结陶瓷片在200 nm处直线透过率达到83%(厚度2 mm)。最后采用冷等静压成型/常压烧结技术制备出Φ170 mm平板和Φ110 mm球罩样件。
- 出版日期2022
- 单位中国科学院大学; 中国科学院光电技术研究所
