提出了一种新型非对称宽耦合波导结构,通过理论计算优化了结构中n型波导层和限制层厚度,并采用低压金属有机化学气相沉积方法生长了设计的器件结构。测试了器件的光电特性,1200μm腔长器件的阈值电流为590mA,斜率效率为0.96W/A,最大输出功率达2000mW;当注入电流为0.6A时,其远场发散角为16.1°(θ⊥)×10.2°(θ∥)。实验结果表明:新型非对称宽耦合波导结构能实现器件大功率输出,有效减小器件远场垂直发散角,改善器件光束质量。
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