基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法

作者：徐哲; 刘云峰; 董景新

来源：中国惯性技术学报, 2014, (01): 114-119.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2014.01.023

• 硅微梳齿式加速度计
• 温漂
• 闭环点位置
• 滞环 comb-finger micromechanical silicon accelerometer
• thermal drift
• close-loop position
• hysteresis

环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。

• 出版日期2014
• 单位中国人民解放军总参谋部陆航研究所; 清华大学