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摘要
利用陶瓷共烧结技术研制了一种极限电流氧气传感器。这种传感器为一体式结构,制作工艺与传统工艺相比,无需玻璃封接工艺,就能实现良好的性能,提高了产品的可靠性,并大大降低了制作成本。所制得的传感器敏感芯体尺寸为4mm×7 mm,厚度仅为0.4 mm,并形成一个厚度约为50μm的内腔室,扩散孔直径约10μm。传感器性能通过实验验证,功耗可以达到1.8 W以下,能够测量体积分数为0%～90%的氧气,响应时间低于10 s,测量误差在0.8%以内。
- 出版日期2010
- 单位中国电子科技集团公司第四十九研究所
