基于光学干涉理论,提出了一种超分辨太赫兹波频谱仪系统。干涉系统采用的是自主研制的宽带氮化镓阵列探测器,用于信号的多点同时探测。所提出的太赫兹波频谱仪具有较高的精度,可实现超分辨。利用阵列探测器得到的二维强度分布,可以测定待测光源的光束质量。利用倍频链发射源产生的470～720 GHz连续太赫兹波对频谱仪进行验证。在75 mm探测距离下,频谱仪的频谱分辨率为100 MHz,测量精度为0.1%,该精度是相同探测距离下分辨极限及精度的20倍。
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