大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验

作者：薛栋林; 张忠玉; 郑立功; 张学军

来源：光学精密工程, 2008, (12): 2491-2496.

• 凸非球面镜
• 碳化硅反射镜
• 零位检验
• 补偿器设计 convex asphere mirror
• SiC mirror
• null test
• null lens compensator design

为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。

• 出版日期2008
• 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所