在半导体设备中,存在多种对象的运动控制应用需求。本文针对其中一种针对刚体结构的垂向三自由度运动控制装置开展了研究工作,研究内容包括控制方案与控制算法设计、机电联合仿真、测试平台搭建与应用验证等。研究结果表明:基于本文提出的控制方案与控制算法,能够实现指定精度的垂向三自由度运动控制。
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