SOI光波导高速电光调制器的研究进展

作者：黄庆忠; 余金中

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2006, (12): 2069-2074.

• SOI
• 单模条件
• 传输损耗
• 偏振相关
• 耦合效率
• 电光调制器 silicon-on-insulator
• single mode condition
• polarization-dependence
• transmission loss
• coupling efficiency
• electro-optic modulator

介绍了不同截面大小的SOI(silicon-on-insulator)波导单模条件,详细描述了几种降低传输损耗,消除偏振相关,提高耦合效率的技术手段.分析比较了一种带有MOS(metal-oxide-semiconductor)电容结构和一种具有微环结构的高速电光调制器,其调制频率分别达到10和1·5GHz.

• 出版日期2006
• 单位中国科学院半导体研究所