碳基纳电子材料与器件

作者：彭练矛; 张志勇; 王胜; 梁学磊

来源：中国科学:技术科学 , 2014, (10): 1071-1086.

• 碳基纳电子技术
• 纳电子材料
• 纳米电子
• 纳米光电子 carbon based nanoelectronic technology
• nanoelectronic materials
• nanoelectronics
• nanophotonics

现代信息技术的基石是集成电路芯片,而构成集成电路芯片的器件中约90%是源于硅基CMOS(complementary metal-oxide-semiconductor,互补金属-氧化物-半导体)技术.经过半个世纪奇迹般的发展,硅基CMOS技术即将进入14 nm技术节点,并将在2020年之前达到其性能极限,后摩尔时代的纳电子科学与技术的研究变得日趋急迫.目前包括IBM在内的很多企业认为,微电子工业走到8 nm技术节点时可能不得不面临放弃继续使用硅作为支撑材料,之后非硅基纳电子技术的发展将可能从根本上影响到未来芯片和相关产业的发展.在为数不多的几种可能的替代材料中,碳基纳米材料——特别是碳纳米管和...

• 出版日期2014
• 单位北京大学