摘要

基于衍射微光学理论,发展了一种面向红外波段衍射微光学元件的设计和制作方法。采用标准半导体技术工艺流程制作了若干个器件。文中设计的红外衍射元件主要用于形成复杂的光场,其振幅和相位都能有效地得到控制。所制造的衍射微光学元件,通过在元件表面形成良好的相位图案,把普通的高斯光束转换成所需要的经大气湍流环境影响后的图形。该结构能够被用于产生湍流波前从而模拟大气湍流中的光场,进而再现波前以评估大气湍流的影响。