阐述了工序能力指数(Cpk)的理论原理及计算方法。通过对某带通滤光片截止区域截止点所在波长位置的统计分析,从截止点(透过率T为5%的点)的分布情况,计算分析得出其Cpk值主要在1.0~1.33之间。提出了有效提高滤光片镀膜工序能力指数的方法和途径,包括减小参数分布的标准偏差δ、优化调整工艺条件,以及尽可能减小工艺参数分布中心μ与规范中心值T0之间的偏离等。
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