摘要

对准光学谐振腔诊断等离子体的传统诊断方法进行了改进,提出一种可用于诊断瞬态等离子体的实时诊断方法。通过实验证明,矢量网络分析仪点频测试(CW Sweep)对信号相位变化的测量速度足够快,可以跟上等离子体鞘套和尾迹的变化速度,因此利用该方法诊断等离子体鞘套和尾迹是可行的。通过对诊断系统性能的评估,表明诊断装置具有较高的实时性,对等离子体电子浓度有较宽的测量范围,测量范围可达10-1~1015m-3。

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