一种少层单晶氧化亚锡及其制备方法与应用

作者:宁洪龙; 邓培淼; 谢伟广; 姚日晖; 刘贤哲; 何锐辉; 袁炜健; 邓宇熹; 张啸尘; 彭俊彪
来源:2018-09-12, 中国, ZL201811062169.4.

摘要

本发明属于场效应晶体管技术领域,具体涉及一种少层单晶氧化亚锡及其制备方法与应用。所述少层单晶氧化亚锡的制备方法包括以下步骤:以晶粒尺寸大于100μm的三维单晶氧化亚锡为原料,将其均匀洒在胶带的一部分上;将胶带中洒有所述三维单晶氧化亚锡的部分与空白部分对折挤压,然后撕开,重复所述对折挤压和撕开操作直至得到所述少层单晶氧化亚锡。所述少层单晶氧化亚锡可用于制备场效应晶体管。本发明采用的方法实验操作简单,所需的药品以及实验仪器都是普通常见的,不需要作特殊处理。并且所制得的少层单晶SnO不易受到污染,形状规则,可以有效改善场效应晶体管的性能。