多晶硅衬底图像具有对比度低的特点,在检测硅片结晶度时缺少成熟可用的算法,提出一种新的图像处理算法,基本完成多晶硅晶畴自动检测的算法框架。将图像分块后对子块进行晶畴边缘提取,然后拼接所有边缘,从而提取出整幅图像的晶畴轮廓。针对边缘拼接,重点研究自适应膨胀算法和蚁群算法,并提出基于梯度的改进算法。实验证明算法运算简单,拼接效果好。该技术路线经进一步优化将可实现多晶硅衬底的结晶度自动检测。
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