铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其特性

作者：庄小玲; 冷金亮; 张治国

来源：泉州师范学院学报, 2010, (02): 27-31.

DOI：10.16125/j.cnki.1009-8224.2010.02.003

• 磁控溅射
• AZO薄膜
• XRD谱 DC magnetron sputtering
• AZO thin film
• XRD spectrums

采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示:薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于(002)晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显.

• 出版日期2010
• 单位泉州师范学院