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A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

作者：Conrad Holger; Schenk Harald; Kaiser Bert; Langa Sergiu; Gaudet Matthieu; Schimmanz Klaus; Stolz Michael; Lenz Miriam
来源：Nature Communications, 2015, 6(1): 10078.
DOI：10.1038/ncomms10078
  • 出版日期2015-12

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更新时间：2021-03-12 23:09