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Debris-free rear-side picosecond laser ablation of thin germanium wafers in water with ethanol

作者：Zhang Dongshi; Goekce Bilal; Sommer Steffen; Streubel Rene; Barcikowski Stephan
来源：Applied Surface Science, 2016, 367: 222-230.
DOI：10.1016/j.apsusc.2016.01.071
  • 出版日期2016-3-30

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更新时间：2021-03-23 01:59