液体静压丝杠驱动的超精密运动系统设计与实验研究

作者：刘远航; 王波; 乔政; 吴言功; 刘长江

来源：航空精密制造技术, 2018, 54(05): 14-18.

• 超精密加工
• 液体静压丝杠
• 液体静压导轨
• 运动分辨率

本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率(反馈分辨率5nm),具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超精密加工设备的驱动装置。

• 出版日期2018
• 单位哈尔滨工业大学; 机电工程学院