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Novel design and fabrication of MEMS electrical inertia micro-switch

作者：Yang, Zhuoqing; Ding, Guifu; Cai, Haogang; Liu, Rui; Zhao, Xiaolin
来源：China Mechanical Engineering, 2008, 19(9): 1033-1036.

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更新时间：2019-09-14 04:59