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摘要
MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件,是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统,因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能,还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象,并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。
- 出版日期2013
- 单位工业和信息化部电子第五研究所
MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件,是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统,因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能,还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象,并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。
