适用于微型燃料电池扩散层的多孔硅的可控制备工艺研究

作者：郑丹; 田娟; 张熙贵; 夏保佳; 张宝宏

来源：无机材料学报, 2006, (06): 1367-1372.

• 微型燃料电池
• 扩散层
• 多孔硅
• 可控制备 miniaturized fuel cell
• diffusion layer
• porous silicon
• controllable preparation

多孔硅以其多孔结构及大的表面体积比等特点被认为是可在基于MEMS技术的微型燃料电池中代替碳纸、碳布作为扩散层的材料．本文考虑传统碳纸、碳布作为扩散层的要求,并结合多孔硅材料的特点,选用n＜100＞(0．04～0．15Ω·cm)单晶硅进行了多孔硅制备工艺的研究；考察了腐蚀液的浓度、电流密度和氧化处理时间对多孔硅的孔隙率、孔深度及氧化速率的影响,实现了多孔硅的可控制备．孔隙率为40％、孔径为350～700nm、厚度为60μm的多孔硅膜电极经循环伏安测定,在0．5mol/L H_2SO_4溶液中,表现出与碳纸相近的电活性,显示了潜在的应用价值．

• 出版日期2006
• 单位上海应用技术大学; 哈尔滨工程大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所