摘要

用准静态分析法分析了铌酸锂光强度调制器的电极结构参数.为了尽可能减少微波和光波之间的折射率失配,提高光强度调制器的工作带宽和降低驱动电压,电极的宽度和间隙必须具有特定的要求,特别是电极的厚度.为了实现10GHz的带宽,在无缓冲层的X-切铌酸锂光强度调制器的电极设计中,在同时考虑电极传输损耗的情况下,地电极宽度S2为1000μm、中心电极宽度S1为32μm、电极间隙G为8μm、电极厚度d可取6μm.