介绍一种用于冷却HgCdTe探测器微型制冷杜瓦组件,该组件由旋转马达驱动型斯特林制冷机冷却,杜瓦采用插入式结构,制冷机与杜瓦之间用耦合单元来传递冷量。设计中的关键技术是尽可能减少漏热损失、高效传递冷量以降低斯特林制冷机的热负荷,同时为了达到长期保持杜瓦内真空度的要求,制造过程中还需要进行一系列的工艺处理。本文重点介绍插入式杜瓦用于冷却HgCdTe探测器芯片的结构设计以及工艺解决方案。
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