低热机械噪声MEMS加速度计设计

作者：杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明

来源：传感器与微系统, 2011, (11): 89-91+95.

DOI：10.13873/j.1000-97872011.11.044

• 加速度计
• 热机械噪声
• 体硅工艺
• 梳齿电容
• 滑膜阻尼 accelerometer
• thermal-mechanical noise
• bulk silicon process
• comb finger capacitance
• slide damping

介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,其理论热机械噪声为0.018μg/槡Hz。加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06,与理论分析结果相符,具有较低的热机械噪声。

• 出版日期2011
• 单位南昌理工学院; 中国科学院大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所