SiO_2含量对FeCo/SiO_2复合薄膜结构和磁性能的影响

作者：刘梅; 葛晶晶; 王世苗; 师惠华; 李海波

来源：电子元件与材料, 2014, (12): 21-24.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2014.12.006

• FeCo/SiO2
• 复合薄膜
• 溶胶-凝胶旋涂法
• 织构
• 磁性能
• 矫顽力 Fe Co/Si O2
• composite thin films
• sol-gel spin-coating method
• texture
• magnetic properties
• coercivity

采用溶胶-凝胶旋涂法并结合氢气还原工艺,在Si(001)基片上制备了FeCo/SiO2复合薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜和振动样品磁强计研究了SiO2含量对薄膜样品的结构、形貌和磁性能的影响。结果表明,随着SiO2含量的增加,FeCo/SiO2薄膜中FeCo的晶粒尺寸减小,样品的矫顽力呈现先略有降低然后增加的趋势。当w(Si O2)低于43%时,Fe Co具有较明显的(200)晶面择优取向。当w(SiO2)为23%时,FeCo的(200)晶面择优取向度最高,样品的矫顽力最小,复合薄膜具有较好的软磁性能和较大的垂直磁晶各向异性。

• 出版日期2014
• 单位吉林师范大学